1、 2.5D/3D封裝：多層芯片堆疊，AI驅(qū)動下HBM需求大增，CoWoS產(chǎn)能成為算力關(guān)鍵卡口

2.5D封裝和3D封裝的區(qū)別在于是否有硅中階層（Si Interposer）。在2.5D封裝中，所有芯片和被動元器件均在基板平面上方，至少有部分芯片和被動元器件安裝在中介層上，中介層通常作為一個載體，承載著各種電路組件和接口。而3D封裝舍棄中介層，直接在芯片上打孔和布線，電氣連接上下層芯片。所有芯片和被動元器件器件均位于基板平面上方，芯片堆疊在一起，在基板平面的上方有穿過芯片的硅通孔（TSV），在基板平面的下方有基板的布線和過孔。

2.5D/3D封裝的關(guān)鍵工藝是硅通孔技術(shù)（through silicon via, TSV）。TSV是一種垂直互連技術(shù)，其概念由威廉·肖克利于1958年首次提出，是指連接硅晶圓兩面并與硅襯底以及其他通孔絕緣的電互連結(jié)構(gòu)。TSV的尺寸通常在10μm×100μm和30μm×200μm之間，開口率介于0.1%~1%。與傳統(tǒng)平面互連相比，TSV能夠縮短互連長度、減小信號延遲、降低寄生電容和電感，實(shí)現(xiàn)芯片間低功耗和高速通信，同時增加寬帶并實(shí)現(xiàn)封裝的小型化。TSV目前主要應(yīng)用于芯片三維堆疊、硅轉(zhuǎn)接板等領(lǐng)域。硅轉(zhuǎn)接板是芯片和有機(jī)基板的中間層，分為無源和有源兩類，其中無源轉(zhuǎn)接板僅包含金屬互連層，而有源轉(zhuǎn)接板則可集成供電、片內(nèi)網(wǎng)絡(luò)通信等功能。

根據(jù)TSV被制作的時間順序，有3種類型的TSV工藝。分為先通孔工藝（Via First）、中通孔工藝（Via Middle）和后通孔工藝（Via Last），分別指TSV制作在晶圓制作工藝中的前、中或后段。

Via First是指在器件（如MOSFET器件）結(jié)構(gòu)制造之前，先進(jìn)行TSV結(jié)構(gòu)的通孔刻蝕，孔內(nèi)沉積高溫電介質(zhì)（熱氧沉積或化學(xué)氣相沉積），然后填充摻雜的多晶硅。多余的多晶硅通過CMP去除。

Via Middle常常指在形成器件之后但在制造疊層之前制造的通孔工藝。在有源器件制程之后形成TSV結(jié)構(gòu)，然后內(nèi)部沉積電介質(zhì)。淀積阻擋層鈦金屬和銅種子層，然后電鍍銅填充通孔，或通過化學(xué)氣相沉積鎢金屬填充通孔。

Via Last包括兩種工藝。正面后通孔工藝是在Back End of Line（BEOL）工藝處理結(jié)束后，從晶圓正面形成通孔的一種制造工藝。從概念上講，在晶圓上制造的后通孔工藝與中通孔工藝相似，但是對工藝溫度有進(jìn)一步的限制（必須小于400℃）。背面后通孔工藝是在BEOL工藝處理結(jié)束后，從晶圓背面進(jìn)行通孔結(jié)構(gòu)的一種制造工藝。首先使用粘合劑將兩個器件晶圓以面對面方式粘合，接下來，將頂部晶圓減薄，將TSV結(jié)構(gòu)刻蝕至頂部晶圓和底部晶圓上的焊盤，孔內(nèi)沉積電介質(zhì)，最后，將金屬沉積到TSV結(jié)構(gòu)中并進(jìn)行表面金屬層再布線。

HBM使用2.5D/3D封裝技術(shù)打破“內(nèi)存墻”制約，成為AI及高性能計(jì)算需求下的主流方案。高帶寬內(nèi)存(High Bandwidth Memory, HBM)通過邏輯芯片和多層的DRAM堆疊來實(shí)現(xiàn)高速數(shù)據(jù)傳輸，突破了帶寬瓶頸，成為AI訓(xùn)練芯片的首選。第一代HBM的架構(gòu)如下圖所示，由4層DRAM和邏輯芯片堆疊在一起，每層之間通過TSV和微凸點(diǎn)連接。每個HBM有8個通道，每個通道有128個I/O，因此每個HBM有1024個I/O，即合計(jì)1024個TSV位于HBM的中間區(qū)域。存儲器和處理器通過無源轉(zhuǎn)接板上的再布線層（RDL）將HBM邏輯芯片的端口物理層（Port Physical Layer, PHY）與處理器的PHY相連。HBM的性能較傳統(tǒng)GDDR5更具優(yōu)勢，GDDR5的帶寬最高可達(dá)32 GB/s，而HBM1、HBM2和HBM2的帶寬分別達(dá)到了128 GB/s、307 GB/s和819 GB/s。其中，HBM內(nèi)部的DRAM堆疊屬于3D封裝，而HBM與芯片其他部分合封于硅中介層上屬于2.5D封裝。

HBM的帶寬提升源于堆棧式封裝帶來的高位寬以及I/O速率的提升。1）位寬：HBM的位寬是GDDR5的32倍。顯存帶寬是指顯示芯片與顯存之間的數(shù)據(jù)傳輸速率，帶寬的計(jì)算公式為：顯存帶寬(GB/s) = 顯存實(shí)際頻率(MHz) × 顯存數(shù)據(jù)倍率 × 顯存等效位寬(bit) / 8。GDDR5的頻率可達(dá)1750 MHz，采用4倍速率機(jī)制，其等效頻率為7000 MHz，但GDDR5內(nèi)部I/O位寬僅32 bit；相比之下，HBM的頻率為500 MHz，采用2倍速率機(jī)制，等效頻率為1000 MHz，但HBM內(nèi)部I/O位寬高達(dá)1024 bit，將帶寬提升至128 GB/s。HBM之所以能實(shí)現(xiàn)32倍于GDDR5的I/O位寬，是因?yàn)樗捎昧硕褩Ｊ皆O(shè)計(jì)，通過TSV堆棧方式將DRAM裸片垂直堆疊放置，從而實(shí)現(xiàn)在相同底面積上布置了數(shù)倍的DRAM顆粒，以達(dá)到更高的I/O數(shù)量。2）I/O速率：在數(shù)值上，顯存速率和顯存頻率是相等的，使帶寬計(jì)算公式簡化為：顯存帶寬(GB/s) = 顯存數(shù)據(jù)速率(Gbps) × 顯存等效位寬(bit) / 8。這是因?yàn)轱@存速率表示每秒傳輸?shù)臄?shù)據(jù)位數(shù)，單位為bps (bits per second)。顯存頻率以MHz為單位，頻率單位赫茲的本質(zhì)就是，描述了單位時間內(nèi)完成周期性變化的次數(shù)。因此，在數(shù)值上，顯存速率和顯存頻率是相等的。根據(jù)JEDEC固態(tài)技術(shù)協(xié)會發(fā)布的HBM3標(biāo)準(zhǔn)，HBM3定義高達(dá)6.4 Gb/s的數(shù)據(jù)速率，堆棧中的DRAM芯片數(shù)量（四到十六個）及其具體容量（每堆棧4 GB到64 GB）不等，計(jì)算得到初始HBM3堆棧可提供每堆棧819GB/s的傳輸帶寬。

HBM堆棧層數(shù)增加對芯片間鍵合技術(shù)提出更高的要求，關(guān)鍵改進(jìn)是使用混合鍵合替代原來的微凸點(diǎn)鍵合。混合鍵合是一種實(shí)現(xiàn)介質(zhì)層與介質(zhì)層、金屬與金屬界面無縫隙鍵合的技術(shù)，芯片鍵合界面由介質(zhì)層（通常為SiO2）和金屬（通常為Cu）組成。SiO2介質(zhì)層為集成單元提供機(jī)械支撐與電氣隔離，Cu-Cu鍵合提供芯片間的垂直電氣互連。對于Cu和SiO2混合鍵合結(jié)構(gòu)，首先要對鍵合表面進(jìn)行等離子或快速原子束表面激活處理，之后進(jìn)行直接鍵合，最后進(jìn)行退火處理。退火在增強(qiáng)SiO2-SiO2鍵合強(qiáng)度的同時，也促進(jìn)了Cu晶粒的生長和擴(kuò)散以實(shí)現(xiàn)Cu-Cu鍵合。海力士計(jì)劃將混合鍵合技術(shù)應(yīng)用于下一代HBM4產(chǎn)品，混合鍵合技術(shù)可以大幅縮小電極尺寸，從而實(shí)現(xiàn)更高的I/O密度，同時可以顯著縮小芯片之間的間隙，減少產(chǎn)品厚度。

HBM的高密度連接和短互聯(lián)間距，要求臺積電的CoWoS封裝技術(shù)。CoWoS是臺積電于2012年研發(fā)的一種2.5D集成封裝技術(shù)，可分為CoW和oS兩步，CoW（chip on wafer）是將計(jì)算核心、I/O die、HBM等芯片封裝在硅中介層上；然后再把CoW芯片整體封裝在基板（Substrate）上，即oS（on substrate）環(huán)節(jié)。CoWoS可以節(jié)省空間，實(shí)現(xiàn)HBM所需的高互聯(lián)密度和短距離連接；還能將不同制程的芯片封裝在一起，在滿足AI、GPU等加速運(yùn)算的需求的同時控制成本。目前所有先進(jìn)的AI計(jì)算芯片都使用HBM，而幾乎所有HBM都封裝在CoWoS上。

根據(jù)中介層材料的不同，CoWoS有三種變體：CoWoS-S（中介層是Si襯底）、CoWoS-R（中介層由RDL構(gòu)成）和CoWoS-L（中介層由Chiplet和RDL組成），其中CoWoS-S為量產(chǎn)主要配置。CoWoS-S利用硅片作為橋梁，芯片互聯(lián)密度最高；出于成本的考慮，CoWoS-R采用有機(jī)轉(zhuǎn)接板，但也導(dǎo)致芯片互聯(lián)密度較低；CoWoS-L將小硅橋安裝在有機(jī)轉(zhuǎn)接板中，僅在芯片鏈接部分使用硅片，實(shí)現(xiàn)鄰近芯片邊緣的高密度連接，生產(chǎn)成本和性能介于CoWoS-R和CoWoS-S之間。

2024年，CoWoS預(yù)計(jì)為臺積電帶來70億美元營收。AI需求驅(qū)動下，CoWoS在臺積電營收的比重逐漸上升。根據(jù)Information Network估計(jì)，2022/2023/2024年CoWoS收入占臺積電營收的比例將分別達(dá)到7.00%/7.49%/8.21%。以臺積電2024年全年?duì)I收指引852.37億美元估算，AI將帶來約69.94億美元的CoWoS營收，較2023年同比增長34.69%。

CoWoS的絕大多數(shù)需求來自AI。英偉達(dá)的H100、A100均由臺積電代工，并使用CoWoS先進(jìn)封裝。根據(jù)Omdia，2023Q3英偉達(dá)售出近50萬個A100和H100 GPU，Meta和微軟是最大買家，其次是谷歌、亞馬遜、甲骨文和騰訊。得益于人工智能和高性能計(jì)算的需求，本財(cái)年第三季度，Nvidia在數(shù)據(jù)中心硬件上獲得了145億美元的收入。龐大的需求量導(dǎo)致CoWoS產(chǎn)能供不應(yīng)求。除了英偉達(dá)外，AMD的最新AI GPU產(chǎn)品MI300也導(dǎo)入臺積電的CoWoS（2.5D）和SoIC（3D）的技術(shù)。此外，還有一系列ASIC芯片，如英特爾的Habana Gaudi、谷歌的TPU v5e、亞馬遜的Inferentia和Trainium芯片等。

根據(jù)我們的測算，CoWoS封裝的單價為722.08美元/顆，2023年/2024年基于CoWoS的芯片出貨量將達(dá)到346萬顆/693萬顆，其中供給英偉達(dá)的芯片分別為130萬顆/433萬顆。按照12英寸晶圓面積70695 mm2和H100、A100、Epic Genoa、MI300四種AI芯片平均面積980mm2，測算得到每張晶圓上芯片數(shù)約72顆。根據(jù)Information Network給出的2022年CoWoS月產(chǎn)能為8500片以及前文測算的2022年臺積電CoWoS收入，得到單顆芯片CoWoS封裝價格約為722.08美元。而根據(jù)DigiTimes的報(bào)道，2023年CoWoS年產(chǎn)能約12萬片，2024年將沖上24萬片，其中英偉達(dá)將取得14.4-15萬片。由于這些芯片多在7nm和5nm節(jié)點(diǎn)生產(chǎn)，保守假設(shè)良率為40%。我們以英偉達(dá)2023年和2024年分別取得4.5萬片和15萬片的產(chǎn)能來算，預(yù)計(jì)英偉達(dá)出貨量約130萬顆和433萬顆。全體AI芯片出貨量約346萬顆和693萬顆，對應(yīng)2023年/2024年CoWoS將產(chǎn)生25億美元/50億美元收入。

供需短缺情況將在13個月內(nèi)得到緩解，非臺積供應(yīng)鏈（non TSMC）有機(jī)會受益。臺積電已于2023年第二季度開始采取行動擴(kuò)產(chǎn)，包括將部分InFO產(chǎn)能從龍?zhí)掇D(zhuǎn)移至南科，以便在龍?zhí)掇D(zhuǎn)擴(kuò)CoWoS產(chǎn)能。2023年7月25日，臺積電宣布擬投資900億新臺幣（約206億元人民幣）于竹科轄下銅鑼科學(xué)園區(qū)新建先進(jìn)封裝廠，以加速擴(kuò)產(chǎn)CoWoS產(chǎn)能，預(yù)計(jì)2026年底建廠完成，2027年開始量產(chǎn)。此外，臺積電同時也將部分委外至其他封測廠，聯(lián)電、安靠、矽品等均提供產(chǎn)能支持。影響CoWoS擴(kuò)產(chǎn)的關(guān)鍵是設(shè)備交貨時間較長。臺積電董事長劉德音在2023年9月6日出席大師論壇專題演講會時稱，CoWoS預(yù)期1年半后可100%滿足客戶需求。因此對非臺積供應(yīng)鏈來說，在CoW端接單的窗口期已不足13個月，加之?dāng)U產(chǎn)時間考慮，各封測廠商對于擴(kuò)產(chǎn)態(tài)度與規(guī)模較為保守。

芯片封裝清洗劑選擇：

水基清洗的工藝和設(shè)備配置選擇對清洗精密器件尤其重要，一旦選定，就會作為一個長期的使用和運(yùn)行方式。水基清洗劑必須滿足清洗、漂洗、干燥的全工藝流程。

污染物有多種，可歸納為離子型和非離子型兩大類。離子型污染物接觸到環(huán)境中的濕氣，通電后發(fā)生電化學(xué)遷移，形成樹枝狀結(jié)構(gòu)體，造成低電阻通路，破壞了電路板功能。非離子型污染物可穿透PC B 的絕緣層，在PCB板表層下生長枝晶。除了離子型和非離子型污染物，還有粒狀污染物，例如焊料球、焊料槽內(nèi)的浮點(diǎn)、灰塵、塵埃等，這些污染物會導(dǎo)致焊點(diǎn)質(zhì)量降低、焊接時焊點(diǎn)拉尖、產(chǎn)生氣孔、短路等等多種不良現(xiàn)象。

這么多污染物，到底哪些才是最備受關(guān)注的呢？助焊劑或錫膏普遍應(yīng)用于回流焊和波峰焊工藝中，它們主要由溶劑、潤濕劑、樹脂、緩蝕劑和活化劑等多種成分，焊后必然存在熱改性生成物，這些物質(zhì)在所有污染物中的占據(jù)主導(dǎo)，從產(chǎn)品失效情況來而言，焊后殘余物是影響產(chǎn)品質(zhì)量最主要的影響因素，離子型殘留物易引起電遷移使絕緣電阻下降，松香樹脂殘留物易吸附灰塵或雜質(zhì)引發(fā)接觸電阻增大，嚴(yán)重者導(dǎo)致開路失效，因此焊后必須進(jìn)行嚴(yán)格的清洗，才能保障電路板的質(zhì)量。

合明科技研發(fā)的水基清洗劑配合合適的清洗工藝能為芯片封裝前提供潔凈的界面條件。

合明科技運(yùn)用自身原創(chuàng)的產(chǎn)品技術(shù)，滿足芯片封裝工藝制程清洗的高難度技術(shù)要求，打破國外廠商在行業(yè)中的壟斷地位，為芯片封裝材料全面國產(chǎn)自主提供強(qiáng)有力的支持。

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